| 出願番号 |
特願2002-377758 |
| 出願日 |
2002/12/26 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2004-205993 |
| 公開日 |
2004/7/22 |
| 登録番号 |
特許第4051436号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
凹レンズ、凹レンズアレーおよびそれらの製造方法 |
| 技術分野 |
情報・通信、無機材料 |
| 機能 |
機械・部品の製造、材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
凹型マイクロレンズ、凹型マイクロレンズアレー、光情報通信デバイス、光情報家電デバイス |
| 目的 |
湿式エッチングによることなく、高度に形状制御された凹型マイクロレンズおよび凹型マイクロレンズアレーならびにそれらの製造方法を提供する。 |
| 効果 |
開口数、収差などを制御した凹型レンズを単一で或いはアレー状に形成出来る。 |
技術概要
 |
本発明の凹型マイクロレンズを製造方法は、図の様に、基板上に低軟化点ガラス層および高軟化点ガラス層を形成する工程、高軟化点ガラス層表面に凹レンズ形成部を露出させたマスクパターンを形成する工程、凹レンズ形成部に相当する低軟化点ガラス層を所定厚さで残存させる様に、高軟化点ガラス層と低軟化点ガラス層をドライエッチングする工程、マスクパターンを除去する工程、低軟化点ガラスのみを軟化させる温度で基板を加熱することにより、低軟化点ガラス層内に凹部を形成する工程からなる。また、凹型レンズ状構造体あるいは凹型レンズアレー構造体が高分子材料成形用の型として有用であり、これを用いて溶融高分子材料の注型成形を行う場合には、高分子材料からなる高精度の凸型マイクロレンズ或いは凸型マイクロレンズアレーが得られる。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)