| 出願番号 |
特願2004-140528 |
| 出願日 |
2004/5/11 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2005-321327 |
| 公開日 |
2005/11/17 |
| 登録番号 |
特許第4691688号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
有機無機ハイブリッド薄膜センサ |
| 技術分野 |
有機材料、無機材料 |
| 機能 |
材料・素材の製造 |
| 適用製品 |
有機無機ハイブリッド薄膜、高感度化学センサ部材 |
| 目的 |
エレクトロデバイス材料として使用し得る微細構造を持つ、導電性有機無機ハイブリッド薄膜を製 造することを可能とする導電性有機無機ハイブリッド薄膜の製造方法、及びその製品、特に、高感度化学 センサ部材の提供。 |
| 効果 |
ナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を有することを特徴とする、導電性のインターカレート 型有機無機ハイブリッド薄膜を製造できる。 |
技術概要
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この技術では、導電性有機無機ハイブリッド薄膜は、ナノサイズの結晶粒子からなり、多孔質 構造を有する金属酸化物の高配向薄膜に、導電性ポリマーあるいは有機イオンをインターカレートしてな るものとする。また、層状構造を持つ無機化合物のナノサイズ結晶粒子からなり、多孔質構造を持つ高配 向薄膜に、水和アルカリ金属イオンをインターカレートし、更にこれを有機化合物と置換してなるものと する。層状構造を持つ無機化合物は、酸化モリブデンを主成分とするものであることが好ましい。また、 有機化合物が、導電性ポリマーであることが好ましい。さらに、有機化合物が、有機イオンであってもよ い。そして、無機化合物と格子定数が類似した金属酸化物単結晶基板上に作製した、ナノサイズ結晶粒子 からなり、多孔質構造を有する、高配向薄膜を用いてもよい。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
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| 特許権実施許諾 |
【可】
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