| 出願番号 |
特願2004-138067 |
| 出願日 |
2004/5/7 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2005-321243 |
| 公開日 |
2005/11/17 |
| 登録番号 |
特許第4148319号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
荷電粒子ビームチョッピング装置 |
| 技術分野 |
電気・電子 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
電子、陽電子、原子イオン、分子イオン、クラスターイオン、微粒子イオン、ミューオン、パイオン、パルス状ビーム |
| 目的 |
時間的に連続したビームから、立ち上がり及び立ち下がり時間の短いパルスビームを切り出すこと が可能な荷電粒子ビームチョッピング装置の提供。 |
| 効果 |
中間電極の外径を入口及び出口の電極の外径よりも小さくして、中間電極と両側の入口及び出口電 極が直接対向する部分の面積を減少させている。このため、電極間の静電容量が大幅に減少し、中間電極 のパルス応答が早くなり、時間的に連続した荷電粒子ビームから、立ち上がり及び立ち下がり時間の短い パルスビームを切り出すことが可能となる。 |
技術概要
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この技術は、中間電極の外径を入口電極及び出口電極の外径よりも小さくして、入口電極及び 出口電極と中間電極間の静電容量を少なくするものである。即ち、荷電粒子の通過できる多数の空隙を持 つ中央部を有する入口電極及び出口電極と、入口電極及び出口電極の間に、荷電粒子の通過できる多数の 空隙を持つ中央部を有する１又は２以上の中間電極を配置し、且つ空隙の大きさをそれぞれの電極の間隙 に比べて小さくするとともに、入口電極及び出口電極には荷電粒子ビームのエネルギーより低い静電位を かけ、中間電極には時間的に変化する電位をかけてチョッピングする荷電粒子ビームチョッピング装置お いて、中間電極の外径は入口電極及び出口電極の外径よりも小さくする。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)