キャパシタンス温度センサ及び温度測定装置

開放特許情報番号
L2004007462
開放特許情報登録日
2004/8/13
最新更新日
2015/9/14

基本情報

出願番号 特願2004-132133
出願日 2004/4/27
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-315661
公開日 2005/11/10
登録番号 特許第4528943号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 キャパシタンス温度センサ及び温度測定装置
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 チタン酸ストロンチウム単結晶、平行平板コンデンサ、キャパシタンス温度センサ
目的 低温で高い誘電率を有し、残留分極特性がなく、かつ高い温度感度S=ΔC/ΔT、高い絶対感度 Sd=(T/C)ΔC/ΔTを実現した、温度分解能の優れたキャパシタンス温度センサの提供。
効果 残留分極がなく、測定したキャパシタンスと温度との間に1対1の相対関係特性を有するキャパシ タンス温度センサを得ることができる。
技術概要
この技術では、酸素16のうち重量30%以下を同位体酸素18で置換したチタン酸ストロン チウ単結晶からなる誘電体を有する平行平板コンデンサのキャパシタンスを検出して温度測定を行う。ま た、酸素16のうち重量35%以上50%以下を同位体酸素18で置換したチタン酸ストロンチウ単結晶 からなる誘電体を有する平行平板コンデンサのキャパシタンスを検出して温度測定を行う。そして、この ようなキャパシタンス温度センサと、キャパシタンス温度センサのキャパシタンスを測定する測定器と、 測定したキャパシタンスから温度を求める測定器とから温度測定装置を構成する。キャパシタンス温度セ ンサのキャパシタンスを測定する測定器が、キャパシタンスブリッジであるものとする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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