感圧材料を用いたセンサ及びその製造方法

開放特許情報番号
L2004007368
開放特許情報登録日
2004/8/13
最新更新日
2015/9/14

基本情報

出願番号 特願2004-096178
出願日 2004/3/29
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-283259
公開日 2005/10/13
登録番号 特許第4192244号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 感圧材料を用いたセンサ及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 マイクロ流路、化学物質・バイオ材料の分析、局所的環境、感圧色素
目的 計測、視覚化することが困難だった微細流路内部の圧力分布をモニターする手法を提供することで あり、面を被覆する薄膜ではなく、自立する微小なセンサを作製することにより、圧力測定感度を機械的 又は構造的に増幅し向上させると共に、これによって感圧材料とセンサ材料を組み合わせて微小領域の環 境をモニターし、さらにセンサ材料の選択により、物理的パラメータから化学、生物関連分子まで適用可 能とする感圧材料を用いたセンサの提供。
効果 自立する微小なセンサを作製することにより、圧力測定感度を機械的又は構造的に増幅し向上させ ることができ、計測、視覚化することが困難だった微細流路内部の圧力分布をモニターすることが可能と なる。また、これによって感圧材料とセンサ材料を組み合わせて微小領域の環境をモニターし、さらにセ ンサ材料の選択により、物理的パラメータから化学、生物関連分子までモニタリング又はセンシングが可 能である。
技術概要
この技術は、感圧色素を含有する材料を最大外形寸法が1〜500μmの微細な自立薄片又は 膜状若しくは梁状構造体、又は直径1〜500μmの微細な凸状又は粒状構造体とし、これをセンサとす ることに大きな特徴を有する。膜状構造による圧力感度を向上させる原理を説明すると、中央位置にある 円柱状の部分は空洞になっていて、円形の表面だけに感圧材料(ポリマー構造体)を有する。この場合、 円形の感圧材料(ポリマー構造体3)の直径が最大外形寸法となり、この構造体の最大外形寸法を1〜5 00μmの範囲とする。この場合は、円形の膜を極めて薄くできるので、微小な力に対して敏感に作用す る。すなわち、感圧材料で作製した自立体の薄片レバー構造や膜状構造を用いると、感圧材料に加わる微 小な力が大きな変形を引き起こすことが分かる。これによって、微細な薄片ではあるが、センサ感度が著 しく向上する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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