低温プラズマを用いるガス中の総有機炭素のガス分析方法及びその装置

開放特許情報番号
L2004007292
開放特許情報登録日
2004/8/13
最新更新日
2015/9/14

基本情報

出願番号 特願2004-071786
出願日 2004/3/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-257572
公開日 2005/9/22
登録番号 特許第4178243号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 低温プラズマを用いるガス中の総有機炭素のガス分析方法及びその装置
技術分野 電気・電子、有機材料
機能 検査・検出
適用製品 無機材料、赤外線吸収法、誘電体
目的 分析ガス中の総有機炭素(TOC)量を計測するに当たり、常温・常圧化で動作する低コストで簡 易なガス分析方法及びそのガス分析に用いるガス分析装置の提供。
効果 低温プラズマと触媒を併用して分析対象ガス中の総有機炭素(TOC)量の計測を、常温・大気圧 で動作するものであるから、使用する装置が簡単であるとともに、操作性及び経済性に優れ、また余熱に 時間を要しないため測定の立ち上がり時間を短縮できる。
技術概要
この技術では、有機炭素物質を含む分析ガス中の総有機炭素(TOC)量を計測する際に、全 ての有機炭素のCO↓2への転換を室温、常圧下において1段式の低温プラズマー触媒を用いて行うもの であり、その装置の運転条件を純酸素とすることにより、CO↓2への転換を促進させることができるも のである。特に、装置の動作温度が室温であるため耐熱構造の必要が無く、触媒層の余熱時間も必要とし ないものである。すなわち、試料ガス注入口に流入した試料ガスをプラズマ反応器に導入して全ての有機 炭素をCO↓2に酸化させ、検出装置でCO↓2濃度を計測し、データ解析装置により出力する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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