熱物性測定方法及び装置

開放特許情報番号
L2004007242
開放特許情報登録日
2004/8/13
最新更新日
2015/9/11

基本情報

出願番号 特願2004-056747
出願日 2004/3/1
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-249427
公開日 2005/9/15
登録番号 特許第4195935号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 熱物性測定方法及び装置
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 コンデンサー、バッテリー、電界効果型トランジスタ
目的 高温物質の熱拡散率を測定するに際して、比熱容量、半球全放射率、熱伝導率、熱拡散率等の物性値を一度に測定することができ、しかも従来の方法では測定を行うことができないような高温においてもその物性値を測定することができるようにした多重熱物性測定方法及びその方法を実施する装置の提供。
効果 加熱回数と加熱保持時間を共に削減できるため、高温保持に起因する試料の変質や測定装置の劣化が測定に与える影響を少なくすることができる。
技術概要
この技術では、試料加熱電流のフィードバック制御により短時間だけ維持される温度一定状態の間に、放射温度計が測定する試料の面の裏面に対して、データ記録及び装置制御用コンピュータの信号によってパルスYAGレーザからレーザ光を照射して光加熱している。この光加熱用のレーザ光照射後の試料の表面温度変化を放射温度計によって測定し、データ記録及び制御装置用コンピュータによってその温度変化を熱拡散モデルにフィットさせることにより熱拡散率を算出する。この装置においては、試料の放射温度測定を数十マイクロ秒のサンプリング間隔で行うため、放射温度計の光強度検出素子には応答速度の速いシリコンフォトダイオードを用いている。また、試料と気体との熱交換による熱損失を低減するため、測定雰囲気は1mPa以下の真空にする。一方、試料の表面に高速エリプソメータの光源からの光を照射し、その反射光を高速エリプソメータの検出器で検出し、その信号をデータ記録及び制御装置用コンピュータに入力して試料表面の分光放射率を測定している。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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