試料駆動装置の試料冷却方法

開放特許情報番号
L2004005535
開放特許情報登録日
2004/6/4
最新更新日
2015/9/11

基本情報

出願番号 特願2002-259799
出願日 2002/9/5
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-103274
公開日 2004/4/2
登録番号 特許第3632090号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 試料駆動装置の試料冷却方法
技術分野 機械・加工、その他
機能 機械・部品の製造、加熱・冷却、その他
適用製品 試料駆動装置の試料冷却装置、試料マニピュレータ、試料ゴニオメータの試料冷却装置
目的 試料駆動装置の大型化や制御範囲の制約を受けることなく、試料ホルダおよび自在冷却用構造材を熱放射の影響を軽減し効率的に極低温まで冷却を可能にする試料駆動装置の試料冷却方法を提供する。
効果 第1段目の低温維持装置を用いて構造体自身の冷却を行うことにより、構造体から試料への熱放射や熱伝導の影響が軽減される。
技術概要
本発明の試料駆動装置の試料冷却方法は、試料の位置や方位制御を行う駆動装置の先端の構造体を第1段目の低温維持装置により冷却を行い、駆動装置の本体を試料に対する熱放射シールドとなるように配置し、試料は第1段目の低温維持装置とは別の第2段目の低温維持装置により冷却を行うことにより試料を極低温まで冷却することを特徴とする。図の(a)および(b)は従来の真空駆動装置における試料冷却方法を説明するための概念図、(c)は本発明による試料冷却法を説明するための概念図である。図のように駆動装置の先端部の構造体6を別の低温維持装置(第1段目)5により冷却を行い、この構造体6から試料1、試料ホルダ2、自在冷却用ジョイント3への熱伝導の影響を改善するとともに構造体6自身を熱放射シールドとして配置し、これにより試料1および試料ホルダ2への熱放射の影響を軽減する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 第1段目の低温維持装置を用いて構造体自身の冷却を行うことにより、構造体から試料への熱放射や熱伝導の影響が軽減される。
改善効果2 試料冷却用第2段目の低温維持装置に用いられる寒剤の消費量を抑えることが可能となる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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