回折格子およびその製造方法

開放特許情報番号
L2004005511
開放特許情報登録日
2004/6/4
最新更新日
2015/9/11

基本情報

出願番号 特願2002-280321
出願日 2002/9/26
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-117774
公開日 2004/4/15
登録番号 特許第3928042号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 回折格子およびその製造方法
技術分野 無機材料、化学・薬品、その他
機能 材料・素材の製造、表面処理、その他
適用製品 回折格子、光通信用バンドパスフィルター、ファイバーの分散補償デバイス、可変バンドパスフィルター、高温領域での温度/圧力検知センサー
目的 耐熱温度をさらに上げることにより、回折格子を利用する光デバイスの信頼性を向上させることを主な目的とする。
効果 GeO↓2、B↓2O↓3−SiO↓2系ガラス材料において、レーザー照射とその後の熱処理により、回折格子を形成することができる。
技術概要
本発明の回折格子の製造方法は、GeO↓2、B↓2O↓3およびSiO↓2からなるガラス材料に紫外線を照射することにより、ガラス材料の屈折率を周期的に変化させた後、当該材料を熱処理することを特徴とする。ガラス材料の組成はモル%比で、1≦GeO↓2≦20、1≦B↓2O↓3≦14および66≦SiO↓2≦98である。ガラス材料に照射する紫外線は波長150〜400nmの紫外レーザーであり、そのパワー密度は10mJ/cm↑2以上であり、位相マスクあるいは二光束干渉法による干渉縞を利用して、格子の周期を0.1〜5μmに制御して照射される。また熱処理は510〜1100℃において、1分間〜6時間行う。図は得られた回折格子の熱処理による回折効率の変化を示すグラフである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 GeO↓2、B↓2O↓3−SiO↓2系ガラス材料において、レーザー照射とその後の熱処理により、回折格子を形成することができる。
改善効果2 従来技術では実現不可能であった80℃よりも高い温度でも回折効率が低下しないという極めて高度の耐熱性を発揮する。
改善効果3 優れた特性を有する本発明の回折格子は、熱光学効果を利用した可変バンドパスフィルター、高温領域での温度/圧力などを検知するセンサーなどに極めて有用である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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