回折格子型光機能素子

開放特許情報番号
L2004005510
開放特許情報登録日
2004/6/4
最新更新日
2015/9/11

基本情報

出願番号 特願2002-280794
出願日 2002/9/26
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-117810
公開日 2004/4/15
登録番号 特許第3890407号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 回折格子型光機能素子
技術分野 無機材料、化学・薬品、その他
機能 材料・素材の製造、表面処理、その他
適用製品 回折格子型光機能素子、光通信用バンドパスフィルター、ファイバーの分散補償デバイス、レーザー共振ミラー、温度可変型フィルター、温度センサー
目的 80℃を超える高温度に曝された場合においても、その回折強度が劣化しない回折格子型光素子を提供する。
効果 回折格子および材料全体が極めて高い耐熱温度を有しているので、光素子において、長期間の高い信頼性を確保することができる。
技術概要
本発明は、光信号を導波する光路の途中に、当該光路に沿ってブラッグ回折格子が形成され、その格子の回折による透過ピークあるいは反射ピークを利用する回折格子型光機能素子であって、80℃よりも高温に加熱してもその回折強度が低下しない回折格子型光機能素子であり、平面基板上に低屈折率ガラス材料層と高屈折率ガラス材料層からなる光路とを備えており、光路中に高屈折率ガラス材料層に対する紫外線照射とそれに続く510〜850℃の温度域かつ10分間〜24時の時間範囲での熱処理により回折格子が形成され、熱処理された回折格子が存在する領域に、格子と直交する方向にリッジ型の光導波路が形成されている。照射する紫外線は波長198〜266nmのレーザーであり、照射する際に位相マスクを使うか、あるいは二光束干渉光を使用する。図は得られた回折格子が形成された導波路の透過スペクトルを示し、(a)が熱処理前、(b)が300℃1時間熱処理後、(c)が400℃1時間熱処理後に、それぞれ室温で測定した透過スペクトルである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 回折格子および材料全体が極めて高い耐熱温度を有しているので、光素子において、長期間の高い信頼性を確保することができる。
改善効果2 従来の光素子では80℃よりも高温での長期的な信頼性が無いため実現不可能であった温度可変型フィルターや、温度センサーなどへの応用が可能になる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT