自立型薄膜及びその製造方法

開放特許情報番号
L2004005107
開放特許情報登録日
2004/5/14
最新更新日
2015/9/11

基本情報

出願番号 特願2002-232876
出願日 2002/8/9
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-068135
公開日 2004/3/4
登録番号 特許第4257405号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 自立型薄膜及びその製造方法
技術分野 無機材料、化学・薬品
機能 材料・素材の製造、表面処理、その他
適用製品 自立型薄膜、イオン透過膜、水素透過膜、微小機械の部品
目的 塩の多結晶成形体を基板の主成分として用いることで溶解あるいは蒸着を利用した方法によって作製された薄膜から,基板を水によって高速に溶解除去することで自立型薄膜を製造する技術及び自立型薄膜を提供する。
効果 本発明の自立型の薄膜を用いて、機能性を有する材料の薄膜化が可能となり、イオン透過膜や水素透過膜の作製が可能となる。
技術概要
本発明の自立型薄膜の製造方法は、多結晶のバルク状塩の基板上に、蒸着により膜を作製し、基板を溶解除去して薄膜を作製することを特徴とする。基板は、粉末状の塩を加圧しながら通電することにより作製した多結晶のバルク状塩の基板であり、塩を主たる基板材料として使用し、金属、無機材料あるいは有機材料を50体積%以下添加あるいは表面に金属、無機材料あるいは有機材料の網を付着させることにより、基板上に膜を蒸着や溶解によって形成し、基板を水で溶解除去することによって基板と分離して自立型薄膜を作製する。図は塩の粉末と成形体のX線回折パターンを示す。基板として成形した塩は、図に示されるように、出発原料である粉末状の塩と同じ回折パターンを示し、多結晶のバルク状塩である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 塩の多結晶体を機械加工することにより、薄膜状の成形体を作製することができ、マイクロマシンなどの微小機械の部品を作製することができる。
改善効果2 これまでアルミニウムなどの比較的耐薬品性の悪い金属材料を強い酸で溶解して作製されてきた自立型の薄膜を、塩の固化成形体を基板材料として利用することにより、ほとんどすべての材料に対応できるところに利点がある。
改善効果3 強い酸に対して溶解するアルミニウムやマグネシウムの機能性材料を薄膜化することができ、幅広い産業分野で利用することが可能である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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