| 出願番号 |
特願2004-029444 |
| 出願日 |
2004/2/5 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2005-219162 |
| 公開日 |
2005/8/18 |
| 登録番号 |
特許第4126377号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
ダイヤモンドの加工方法 |
| 技術分野 |
機械・加工 |
| 機能 |
機械・部品の製造 |
| 適用製品 |
ダイヤモンドの加工方法、ダイヤモンドウエハ、超音波加工 |
| 目的 |
極端に難加工材料であるダイヤモンドに対して、３次元形状に加工することを可能とし、その加工速度が砥石による研削に比べて有意に大きく、１００μｍ以下の加工精度を実現する加工技術の実現。 |
| 効果 |
加工が著しく困難であったダイヤモンドウエハを１００μｍ／ｍｉｎ．以上という、高速での加工ができ、さらに比較的出力の弱い５０Ｗ以下の超音波振動素子を用いて高精度加工が可能となる。 |
技術概要
 |
この技術では、１０−１００ｋＨｚの発信周波数の超音波で生じさせた往復運動を厚さ１０００μｍ以下の短冊状の加工用シートに伝え、加工用シートと被加工材の間に存在するダイヤモンド砥粒の衝突によって加工することでダイヤモンドを加工する。ダイヤモンド砥粒の平均粒径は３０μｍ〜２００μｍであるものとする。また、加工用シートに張力を与えて補強するダイヤモンドの加工方向に対して、加工方向と加工方向に垂直なシート端面方向の二方向の振動を与える。また、ダイヤモンドと加工シートが接する部分に進行波を形成するように加工するものとする。 |
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)