試料観察装置

開放特許情報番号
L2004004484
開放特許情報登録日
2004/3/26
最新更新日
2015/9/10

基本情報

出願番号 特願2002-213229
出願日 2002/7/23
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-053488
公開日 2004/2/19
登録番号 特許第3711386号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 試料観察装置
技術分野 機械・加工、その他
機能 検査・検出、機械・部品の製造、その他
適用製品 試料観察装置
目的 所望の環境条件下で試料の観察を容易に且つ精度良く行うことができる試料観察装置を提供する。
効果 所望の環境条件下において試料の観察を容易に且つ精度良く行うことができる。
技術概要
本発明の試料観察装置は、図に示すようにケーシング4と、ケーシング4内に設けられた支持手段20とを備え、支持手段20により着脱自在に支持された光透過性を有する試料Sを観察する装置であり、支持手段20は一対の内部反射鏡24,24を備えており、試料Sが支持された状態で、ケーシング4の一端側から入射した光が一方の内部反射鏡24で反射して試料Sを透過し、他方の内部反射鏡24で反射した後にケーシング4の一端側又は他端側から出射するように構成されたことを特徴とする。また支持手段20は複数設けられ、ケーシング4の両端部を通過する軸線に沿って移動可能に構成されており、複数の試料Sを軸線に沿って異なる位置に支持することができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 所望の環境条件下において試料の観察を容易に且つ精度良く行うことができる。
改善効果2 ケーシング内の環境条件がケーシングの軸線に沿って変化する場合に、複数の試料を異なる環境条件下で同時に観察することができる。
改善効果3 所望の重力環境下において試料の観察を容易に且つ精度良く行うことができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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