電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラム並びに記録媒体

開放特許情報番号
L2004004446
開放特許情報登録日
2004/3/26
最新更新日
2015/9/10

基本情報

出願番号 特願2002-191785
出願日 2002/7/1
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-038362
公開日 2004/2/5
登録番号 特許第3968421号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラム並びに記録媒体
技術分野 情報・通信、その他
機能 検査・検出、制御・ソフトウェア、その他
適用製品 画像処理プログラム
目的 透過型電子顕微鏡で観察された試料像の歪とボケを簡便に補正し、かつ、オングストロームレベルの分解能を実現可能な電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラムを提供する。
効果 透過型電子顕微鏡で観察された試料像の歪とボケを簡便に補正し、かつ、オングストロームレベルの分解能を実現可能な画像処理を可能とする。
技術概要
本発明の電子顕微鏡観察像の画像処理方法は、電子顕微鏡観察像を補正するための画像処理方法であって、予め大きさおよび形態が既知の標準試料の画像を基準画像電子データとして記録するステップと、観察試料と標準試料とを同一条件下で撮影して当該観察試料および標準試料の電子顕微鏡観察像を得るステップと、当該観察試料および標準試料の各々の電子顕微鏡観察像を観察画像電子データとして記録するステップと、当該標準試料の観察画像電子データを基準画像電子データと比較して点像分布関数を求めるステップと、観察試料の観察画像電子データに点像分布関数を逆畳込演算して復元画像を形成するステップとを備えることを特徴とする。図は一連の手順を説明するフローチャートである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 透過型電子顕微鏡で観察された試料像の歪とボケを簡便に補正し、かつ、オングストロームレベルの分解能を実現可能な画像処理を可能とする。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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