酸化アルミニウム耐摩耗性部材及びその製造方法

開放特許情報番号
L2004004421
開放特許情報登録日
2004/3/26
最新更新日
2015/9/10

基本情報

出願番号 特願2002-173188
出願日 2002/6/13
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-026513
公開日 2004/1/29
登録番号 特許第4395605号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 酸化アルミニウム耐摩耗性部材及びその製造方法
技術分野 無機材料、機械・加工
機能 材料・素材の製造、機械・部品の製造、その他
適用製品 酸化アルミニウム基焼結体、耐摩耗性部材、摺動部品、半導体製造装置の部品
目的 耐摩耗性・強度と破壊靱性を単一の焼結体で高度に両立することを可能とする酸化アルミニウム基焼結体及びその製造方法を提供する。
効果 高強度・耐摩耗性と高い破壊靱性が要求される機械の摺動部品、半導体製造装置の部品等として有用である。
技術概要
 
本発明の複層酸化アルミニウム焼結体の製造方法は、表面層は、粒径の小さな等軸晶の結晶からなる高強度・耐摩耗層で、内部は、異方性を有する結晶から構成される高破壊靱性層の少なくとも2層構造を有する高強度・耐摩耗性/高破壊靱性の複層酸化アルミニウム焼結体の製造方法であり、(1)結晶粒成長抑制剤を含有する純度90%以上の酸化アルミニウム材料と、結晶粒成長促進剤を含有する純度90%以上の酸化アルミニウム材料を金型成形、冷間静水圧成形、鋳込み成形、又は排泥成形等で積層して積層体を作製し、(2)常圧焼結では、積層体の2層の焼結特性、及び成形密度がほぼ同じになるように設定し、(3)これらを同時に1工程で焼結することを構成要素として含むことを特徴とする。これにより耐摩耗性と400MPa以上の曲げ強度を有する表面層と、破壊靱性が5MPa・m1/2 以上の内部層の少なくとも2層からなる高強度・耐摩耗/高破壊靱性の複層酸化アルミニウム焼結体が得られる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 表面層は粒径の小さな等軸晶の結晶からなる高強度・耐摩耗層で、内部は異方性を有する結晶から構成される高破壊靱性層の少なくとも2層構造を有する高強度・耐摩耗性/高破壊靱性の複層酸化アルミニウム焼結体を製造することができる。
改善効果2 耐摩耗性、強度、及び破壊靱性が高度に両立する優れた化学的安定性、機械的性質などを有する酸化アルミニウム耐摩耗性部材を簡便なプロセス及び低コストで製造することができる。
改善効果3 高強度・耐摩耗性と高い破壊靱性が要求される機械の摺動部品、半導体製造装置の部品等として有用である。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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