全反射局所蛍光X線分析用アライナー

開放特許情報番号
L2004004400
開放特許情報登録日
2004/3/26
最新更新日
2015/9/10

基本情報

出願番号 特願2002-170753
出願日 2002/6/12
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-012440
公開日 2004/1/15
登録番号 特許第3740530号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 全反射局所蛍光X線分析用アライナー
技術分野 機械・加工、その他
機能 検査・検出、その他
適用製品 全反射局所蛍光X線分析用アライナー
目的 X線の入射位置、角度を規定するためのコリメータと超伝導分光素子を一体化した全反射局所蛍光X線分析用アライナーを提供する。
効果 従来大型の装置を必要とし、微妙なアライメントが不可欠だった全反射局所蛍光X線分析を、小型で手軽なシステムにより実現することができる。
技術概要
本発明の蛍光X線分析用アライナーは、全反射局所蛍光X線分析用アライナーであり、測定ブロック及び可変湾曲ミラーにより構成され、測定ブロックは、分光素子と一体化したX線入射コリメータ及び出射口から成り、測定ブロックを測定試料表面に近接又は接触させることにより、入射及び出射X線の光路を規定し、試料に対する全反射条件を満たすと共に、入射コリメータ前面に可変湾曲ミラーを設け、X線の入射位置、入射方向の設定ずれを微調整することを特徴とする。可変湾曲ミラーにおける湾曲は、ピエゾ素子により駆動される。図はX線分析用アライナーの概念図を示す。1は入射X線、3は可動湾曲ミラー、4は入射コリメータ、5は微小光学素子、7は反射X線、8は被測定試料である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 従来大型の装置を必要とし、微妙なアライメントが不可欠だった全反射局所蛍光X線分析を、小型で手軽なシステムにより実現することができる。
改善効果2 微妙なアライメントは、不要となり、従来装置においては困難であった凹凸のある試料に対しても、全反射局所蛍光X線分析が可能となる。
改善効果3 小型化により、試料とX線源との間を近づけることも可能となるため、必要なX線源の出力パワーも小さくすることが可能で、安全性と省エネルギーに優れる分析装置を開発することができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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