トライボプラズマ制御方法、同コーティング方法、トライボプラズマ制御装置及び同コーティング装置

開放特許情報番号
L2004003662
開放特許情報登録日
2004/3/12
最新更新日
2015/9/9

基本情報

出願番号 特願2003-383459
出願日 2003/11/13
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-149825
公開日 2005/6/9
登録番号 特許第3987904号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 トライボプラズマ制御方法、同コーティング方法、トライボプラズマ制御装置及び同コーティング装置
技術分野 電気・電子、機械・加工、金属材料
機能 機械・部品の製造、制御・ソフトウェア
適用製品 機械の摺動面、摩擦接触点、トライボマイクロプラズマ、コーティング膜、耐摩耗性、保護膜、歯車、耐摩耗性硬質膜
目的 機械の摺動面などの、摩擦接触点の隙間で発生するトライボマイクロプラズマを効果的に制御する方法の提供。
効果 トライボプラズマに磁場及び又は電場を加えることにより摩擦接触点や機械の摺動面に発生するトライボプラズマの強度、分布などを制御できる。その結果、機械の摺動面の、その場で発生するトライボプラズマを制御して、耐食性皮膜、耐摩耗性皮膜、潤滑性皮膜等を、PVDやCVDコーティング法により効率良く被覆できる。
技術概要
この技術は、摩擦接触部又は機械等の摺動面の隙間に発生するトライボプラズマに、磁場及び又は電場を加えることによりトライボプラズマを制御するトライボプラズマ制御方法とする。トライボプラズマの密度分布、大きさ、形状、パターンを制御してもよい。トライボプラズマを取り囲むようにN極とS極を交互に並べることにより、プラズマを内部に閉じ込めるようにしてもよい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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