プラズマジェット発生装置

開放特許情報番号
L2004003487
開放特許情報登録日
2004/3/12
最新更新日
2015/10/30

基本情報

出願番号 特願2001-297850
出願日 2001/9/27
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2003-109795
公開日 2003/4/11
登録番号 特許第3768854号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 プラズマジェット発生装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造、表面処理、加熱・冷却
適用製品 高密度プラズマ、ジェット状に噴出、溶断、エッチング、薄膜堆積、加工、表面処理
目的 高密度プラズマを細いノズルからジェット状に噴出させ、被加工物の局所部位に溶断、エッチング、薄膜堆積などの加工、表面処理を高速で行うことのできる、新しいプラズマジェット発生装置の提供。
効果 低電力の高周波放電により精細な高密度プラズマジェットの発生が可能であり、直流放電の場合とは異なり、金属、セラミックス、プラスチックなど被加工物の材料を選ばず、局所部位への高速ドライエッチングや成膜などの精密加工を施すために実用的なプラズマジェット発生装置を提供することができる。
技術概要
この技術では、プラズマジェット発生装置は、放電管と、放電管付近に配置されたアンテナおよびその電源から構成される高周波誘導結合式のプラズマ発生装置であって、放電管の一端に放電管よりも内径の小さいノズルを有し、放電管の内径を5mm以下として小型化し、またノズルの内径を2mm以下とすることから、生成するプラズマの体積を小さくしてプラズマ生成に必要な電力を低減することができる。尚、ノズルの内径dと放電管内径Dの比d/Dは1〜1/100の範囲とする。このように狭い放電管でのプラズマ生成では放電管壁での電子の損失が問題となるため、交番電界中での電子の捕捉効率を高めるために最適な周波数領域であるVHF帯(30−300MHz)の高周波をアンテナに印加することで低電力でのプラズマ生成が可能となる。このとき、アンテナとしてソレノイドアンテナを用い、この結果、発生する総熱量は抑えられ、高密度プラズマを細いノズルの先端からジェット状に噴出させることのできる無電極方式の高周波誘導結合式のプラズマジェット発生装置が実現できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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