静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置

開放特許情報番号
L2004003224
開放特許情報登録日
2004/3/5
最新更新日
2015/10/30

基本情報

出願番号 特願平11-225881
出願日 1999/8/10
出願人 独立行政法人科学技術振興機構
公開番号 特開2001-057789
公開日 2001/2/27
登録番号 特許第3839193号
特許権者 国立研究開発法人科学技術振興機構
発明の名称 静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置
技術分野 電気・電子、機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 静電浮上ハンドリング装置、不安定浮上因子、非接触ハンドリング技術
目的 高抵抗体や誘電体材料からなるハンドリング対象物の静電気力浮上ハンドリング時における、ハンドリング対象物の表面に存在する残留電荷が起因する不安定浮上因子を無くし、高抵抗体や誘電体材料を安定浮上させハンドリングできる静電気力を用いたハンドリング対象物のハンドリング装置の提供。
効果 残留静電気吸引力を無くすことによって、ハンドリング対象物の浮上ギャップはターゲットギャップに比べて過剰に小さくなるのを防止することができる。更に、ハンドリング対象物が電極に吸着されること無く、安定浮上を実現することができる。
技術概要
この技術での静電気力を用いた高抵抗体や誘電体材料からなるハンドリング対象物のハンドリング装置において、ハンドリング対象物に対向する上面に、ハンドリング対象物を非接触で支持する静電気力を発生する電極を有する固定子と、電極の面とハンドリング対象物間のギャップをセンシングするセンサーとを配置する。そして、ハンドリング対象物の表面に存在する残留電荷を考慮した上で、センサーの出力に基づいて、電圧電源から供給される複数の電圧を選択的に電極に印加するとともに、ハンドリング対象物を静電気力で吸引浮上するために電極に電圧を印加することに付加して、ハンドリング対象物の浮上ギャップが浮上ターゲットギャップより小さくなった場合に作動する、ハンドリング対象物の過度の吸引浮上を抑制する抑制制御手段を具備するようにしたものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

登録者情報

登録者名称 国立研究開発法人科学技術振興機構

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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