ナノチューブを用いた探針

開放特許情報番号
L2004000657 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2004/1/23
最新更新日
2015/9/9

基本情報

出願番号 特願2002-142836
出願日 2002/5/17
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2003-337099
公開日 2003/11/28
登録番号 特許第3858089号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ナノチューブを用いた探針
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 走査型プローブ顕微鏡用のプローブ(探針)
目的 探針の交換時期を容易に把握しうるナノチューブ探針を提供する。
効果 ナノチューブが剥離した場合、試料表面の観察像の極端な位置分解能の低下をもたらすため、ナノチューブ探針の交換時期が明白となる。
技術概要
 
図は本発明のナノチューブ探針の一例を示し、このベース探針部分の拡大図である。ナノチューブを固定するこれら錐状体や金属針(ベース探針)の先端形状を鈍化させ、この先端にナノチューブを固定する。この例においては、ベース探針7の先端部を球面形状にし、ナノチューブ3を堆積カーボン6により接着固定化している。ベース探針の先端をどの程度鈍らせるかは、試料にもよるが、例えば、金属表面を観察対象とする場合、ベース探針7の先端は曲率半径でいうと5nm以上、もしくは取り付けるナノチューブの直径の3倍程度以上が望ましい。先端を鈍らせる方法としては、特に制限はないが、例えば、イオンボンバードメント法、リアクティブイオンエッチング法といった原子をイオン化して探針先端に当て、先端を鈍らせる方法がある。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 ナノチューブが剥離した場合、試料表面の観察像の極端な位置分解能低下をもたらし、ナノチューブの剥離が明白となり、ナノチューブ探針の交換時期が明白となる。
改善効果2 ベース探針の先端を鈍化させることにより、機械的衝撃に強く壊れにくくする。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT