ガラス材料の透過率制御方法

開放特許情報番号
L2004000622
開放特許情報登録日
2004/1/23
最新更新日
2015/9/9

基本情報

出願番号 特願2002-127655
出願日 2002/4/26
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2003-321246
公開日 2003/11/11
登録番号 特許第3932354号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ガラス材料の透過率制御方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 フォトマスク、回折格子、光フィルター
目的 外部エネルギー付与により、吸収係数が大きく上昇し、500℃以上の高温加熱でも脱色せず、膨張率の制御が可能なガラス材料を提供する。
効果 膨張率を制御しつつ、吸収係数を大きく変化させた着色ガラス材料を得ることが出来る。
技術概要
 
本発明によるGeO↓2−B↓2O↓3−SiO↓2系ガラス基礎ガラス材料は有機金属原料を所定比で加熱気化させた後、酸素プラズマ中で分解して、200〜500℃程度の透明基板(シリカ基板、ガラス基板など)上に成膜するプラズマCVDF法により製造される。ガラス材料の組成(モル%比で示す)は、1≦GeO↓2≦70、1≦B↓2O↓3≦15および30≦SiO↓2≦98である。この三成分の相対的な比が規定範囲を外れる場合には、所望の特性を備えたガラス材料は得られない。例えば、GeO↓2の量が少なすぎる場合には、外部エネルギーに対する感応性が低くなり、目的とする性能(感度)が得られない。これに対し、GeO↓2の量が過剰となる場合には、ガラスの耐候性低下する。また、B↓2O↓3ついても同様の傾向が認められる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 膨張率を制御しつつ、吸収係数を大きく変化させた着色ガラス材料を得ることが出来る。
改善効果2 得られた着色ガラス材料は、熱的、化学的、物理的に極めて安定で、室温では全く劣化しないのみならず、500〜1000℃程度に再加熱する場合にも、退色しない。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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