トライボマイクロプラズマコーティング膜、同コーティング方法及びコーティング装置

開放特許情報番号
L2003009817
開放特許情報登録日
2003/12/19
最新更新日
2015/9/9

基本情報

出願番号 特願2003-312995
出願日 2003/9/4
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-082819
公開日 2005/3/31
登録番号 特許第4264509号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 トライボマイクロプラズマコーティング膜、同コーティング方法及び同コーティング装置
技術分野 機械・加工
機能 表面処理
適用製品 歯車、すべり軸受等摺動部分を伴う機器のコーティング膜の形成に適用する。
目的 機械摺動面に、その場で発生するプラズマを利用して潤滑性等の被膜をコーティングする方法を提供する。
効果 高価なプラズマコーティング装置を要さずに実機の摺動面でそのまま薄膜コーティングができ、また、同時になじみ運転も行えるので、極めて効率的に有効な薄膜コーティングを行うことができる効果を奏する。
技術概要
摺動体と回転体または摺動させることにより、これらの間にトライボマイクロプラズマを発生させ、この摺動体と回転体の一方または双方に、摺動体または回転体を構成する物質の少なくとも一部からなる膜を形成するコーティング方法にする。これにより、ポリマーコーティング膜、ダイヤモンド膜、ダイヤモンド状カーボン膜、サファイア膜等を形成できる。尚、例えばCVDコーティングは、真空槽7内、試料であるピン摺動子2、回転ディスク3の接触点の隙間に発生したトライボマイクロプラズマ4中に反応性ガス5を導入することにより行われる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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