空孔を有する多結晶圧電材料及びその製造方法

開放特許情報番号
L2003008548
開放特許情報登録日
2003/11/21
最新更新日
2015/9/8

基本情報

出願番号 特願2002-060971
出願日 2002/3/6
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2003-261378
公開日 2003/9/16
登録番号 特許第3834619号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 空孔を有する多結晶圧電材料及びその製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 精密機械における位置決めアクチュエータや流体制御バルブ等の駆動源のアクチュエータ、圧力センサ等の多結晶圧電材料に適用する。
目的 特定組成比のタングステンブロンズ型複合酸化物からなる、低誘電率を示す多結晶圧電材料を提供する。
効果 環境を汚染することのない金属元素を用いて、圧電定数が115pC/N以上の高性能の多結晶圧電材料が生産性よく得られる。
技術概要
 
Sr↓(2−(x+y))Ca↓x□↓yNaNb↓5O↓15で表されるタングステンブロンズ型複合金属酸化物であって、□は空孔であり、0<x<0.3で、0<y<0.2である多結晶圧電材料とする。この多結晶圧電材料は、原料の混合工程、合成工程、粉砕工程、成形工程及び焼結工程で製造する場合、合成工程において、1080〜1170℃で4〜12時間焼成を行い、そして、焼結工程において、1180〜1250℃で4〜8時間の焼成を行った後、更に連続して1270〜1350℃で10〜50時間の焼成を行う。尚、焼結後の結晶粒子径が3〜20μmであることが好ましい。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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