低トライボマイクロプラズマ発生ダイヤモンド状カーボン膜及び同膜をコーティングした摺動部品並びに同膜の形成方法

開放特許情報番号
L2003008379
開放特許情報登録日
2003/10/31
最新更新日
2015/9/8

基本情報

出願番号 特願2003-303847
出願日 2003/8/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-068529
公開日 2005/3/17
登録番号 特許第4221500号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 ハードディスクの磁気ディスク及びヘッド並びにその製造方法
技術分野 電気・電子、情報・通信、無機材料
機能 材料・素材の製造、表面処理
適用製品 コンピュータのハードディスクのヘッド、磁気ディスクなどの摺動部分に使用する保護膜
目的 特定量の窒素を含有するダイヤモンド状カーボンの低トライボマイクロプラズマ発生膜を形成させる。
効果 摺動部品の接触点のトラブルを防止し、潤滑油の分解劣化を抑え、摺動部品の長寿命化に効果を有する。
技術概要
スパッタガス中に30at%以下の窒素を含有するアルゴンガス雰囲気中で、スパッタリングし低いトライボマイクロプラズマを発生させて、ハードディスク用ヘッド、磁気ディスクなどの摺動部分にダイヤモンド状カーボン膜をコーティングさせて、保護膜を形成させる。水素化ダイヤモンドライクカーボン膜に比べ、窒素化ダイヤモンドライクカーボン膜が、よりプラズマ発生を抑制出来る効果を有し、トライボマイクロプラズマ発生の防止、又は抑制効果は、潤滑油の分解劣化を抑え、長寿命化に有効となる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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