平行平板コンデンサ

開放特許情報番号
L2003008345
開放特許情報登録日
2003/10/31
最新更新日
2015/9/7

基本情報

出願番号 特願2003-296037
出願日 2003/8/20
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-064413
公開日 2005/3/10
登録番号 特許第4362581号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 平行平板コンデンサの作製方法
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 バルク単結晶STO
目的 薄膜STOを誘電体として用い、低温で高い誘電率を有し、かつ電場依存性の小さい平行平板コンデンサの提供。
効果 100kHzで温度4.2Kにおいて20,000以上の比誘電率を有し、かつ電場依存性の小さいキャパシタンス(比誘電率)を有する平行平板コンデンサを提供できる。
技術概要
この技術では、基板上に平行平板コンデンの下部電極となる下部イットリウム系酸化物超伝導(YBCO)層を積層し、下部YBCO層の上に、第1のSTO層を堆積する。第1層のSTO層の表面をCMPする。この後、表面に第2のSTO層を形成し、第2のSTO層の上に平行平板コンデンサの上部電極となるYBCO層を形成し、平行平板コンデンサの誘電体となる高誘電率チタン酸ストロンチウム薄膜積層を構成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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