ガリウムの精製方法

開放特許情報番号
L2003008054
開放特許情報登録日
2003/10/10
最新更新日
2008/11/14

基本情報

出願番号 特願平11-304177
出願日 1999/10/26
出願人 古河機械金属株式会社
公開番号 特開2001-123232
公開日 2001/5/8
登録番号 特許第4190678号
特許権者 古河機械金属株式会社
発明の名称 ガリウムの精製方法
技術分野 金属材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 真空加熱を利用したガリウムの精製方法、ガリウムを半導体原料として使用可能な純度に精製するガリウムの精製方法
目的 鉛などの不純物を再結晶法を用いずに除去することができ、生産性が高く、半導体原料として使用可能な純度99.9999%以上のガリウムを低コストで得ることのできるガリウムの精製方法の提供。
効果 一般的に再結晶法によって除去されていた鉛などの不純物を真空加熱精製法で除去することができ、半導体原料として使用可能な純度99.9999%以上のガリウムの生産性が向上し、コスト低減が可能となる。
技術概要
 
この技術におけるガリウムの精製方法では、ガリウムに亜鉛を添加してアルゴンまたは窒素雰囲気中で420〜910℃に加熱保持し、次に真空に引きながら800〜1000℃で加熱した後、ろ過する。亜鉛はガリウム中の不純物と共沸混合物を形成すると考えられ、鉛のような高沸点金属を本来の沸点より低温で蒸発除去することが可能となる。加熱保持温度は420〜910℃に設定するが、加熱保持温度が420℃より低い場合、亜鉛は固体であるため不純物との拡散反応速度が遅く、また910℃より高い場合、亜鉛の蒸発速度が速いためガリウムから排出されてしまい、いずれの場合においても精製効果は期待できない。亜鉛を添加したガリウムを420〜910℃に加熱保持した後、アルゴンまたは窒素の導入を止め、炉を真空に引きながら800〜1000℃で1〜5時間加熱すると亜鉛と同時に鉛が蒸発する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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