カーボンナノチューブを備えた金属ワイヤー又はキャピラリー及びカーボンナノチューブの形成方法

開放特許情報番号
L2003007473
開放特許情報登録日
2003/10/3
最新更新日
2015/9/4

基本情報

出願番号 特願2003-274612
出願日 2003/7/15
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2005-035841
公開日 2005/2/10
登録番号 特許第3837556号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 カーボンナノチューブを備えた金属ワイヤー又はキャピラリー及びカーボンナノチューブの形成方法
技術分野 無機材料、電気・電子
機能 表面処理、材料・素材の製造
適用製品 電界放出型電子源用電極、走査型プローブ顕微鏡等の探針、ガスセンサー等の電極等に有用なカーボンナノチューブを備えた金属ワイヤー、キャピラリーに適用する。
目的 その表面またはその内壁面にカーボンナノチューブを形成してなる金属ワイヤー、キャピラリーを提供する。
効果 マイクロメーターオーダーで非平坦面である表面または内壁面に、大気圧条件下においてカーボンナノチューブが形成してなる金属ワイヤー、キャピラリーが可能になる。
技術概要
例えば高融点金属、貴金属等の金属ワイヤー(特に外径が500μm以下)、又は、ガラス等のセラミックス材料、ポリマー等のプラスチック材料等の誘電体物質からなるキャピラリー内壁面(特に内径が1mm以下)に、1又は複数のカーボンナノチューブを備える金属ワイヤー又はキャピラリーにする。例えば、石英キャピラリー1、金属管2、銅製コイル4、金属ワイヤー3、高周波発生器5、高圧直流電源6等から構成される装置を用い、キャピラリー1中にArガスを供給しながらコイル4に高周波を印加した状態で金属ワイヤー3へ高電圧を印加しマイクロプラズマを発生させ、メタン等の原料ガス(供給ライン10)、及びフェロセン13を供給し、カーボンナノチューブをキャピラリー1の内壁、金属ワイヤー3の表面に形成させる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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