技術概要
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試料温度可変小型プローバ装置を図示する。１はステンレス板基台であり、中央にマイクロチェンバーである真空槽２を固定している。内部の空間を閉止弁３を通して真空排気し、断熱真空とする。真空槽２の内部中央に無酸素銅製の試料台４を置く。試料台４上に板状の測定試料５を密着固定する。試料台４は中心部が薄肉非磁性ステンレス管からなる支柱６を介して真空槽２に固定される。試料ステージの冷却、加熱に伴う温度ドリフトを防ぐために、４本の支柱を同一寸法とし、同一平面上に対称的に配置して、その張力が試料台４中央でつり合うようにする。７は冷却ポートである。その試料に近い一端８は無酸素銅ブロック製のコールドヘッドであり、銅箔あるいは銅網線からなる可撓性の伝熱体９経由で試料台４を冷却する。冷却ポート７のその他の部分は非磁性ステンレス製であり大気側は端部を除き断熱二重構造とする。ここに公知のフロー型冷却器を接続してコールドヘッド８、伝熱体９、試料台４経由で測定対象である試料５を冷却する。試料台４裏側に図示を省略している抵抗加熱ヒータを固定し、試料台４の加熱を行う。試料台４裏側に温度センサ（図示省略）を固定し、試料台４の温度を測定する。 |
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