試料温度可変小型プローバ装置

開放特許情報番号
L2003005987
開放特許情報登録日
2003/8/8
最新更新日
2015/9/4

基本情報

出願番号 特願2003-139951
出願日 2003/5/19
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-342956
公開日 2004/12/2
登録番号 特許第3837545号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 試料温度可変小型プローバ装置
技術分野 機械・加工、金属材料
機能 検査・検出、機械・部品の製造
適用製品 プローバ装置、試料冷却加熱機構、外部電磁場印加源
目的 探針の可動範囲を確保しつつ蛇腹の断面積を抑制し真空槽およびプローバ装置全体を小型化薄型化し、探針保持方法を機械的に安定化し、かつ温度ドリフトを抑制する。
効果 小型化薄型化し、探針保持方法を機械的に安定化し、かつ温度ドリフトを抑制するプローバ装置を提供できる。
技術概要
試料温度可変小型プローバ装置を図示する。1はステンレス板基台であり、中央にマイクロチェンバーである真空槽2を固定している。内部の空間を閉止弁3を通して真空排気し、断熱真空とする。真空槽2の内部中央に無酸素銅製の試料台4を置く。試料台4上に板状の測定試料5を密着固定する。試料台4は中心部が薄肉非磁性ステンレス管からなる支柱6を介して真空槽2に固定される。試料ステージの冷却、加熱に伴う温度ドリフトを防ぐために、4本の支柱を同一寸法とし、同一平面上に対称的に配置して、その張力が試料台4中央でつり合うようにする。7は冷却ポートである。その試料に近い一端8は無酸素銅ブロック製のコールドヘッドであり、銅箔あるいは銅網線からなる可撓性の伝熱体9経由で試料台4を冷却する。冷却ポート7のその他の部分は非磁性ステンレス製であり大気側は端部を除き断熱二重構造とする。ここに公知のフロー型冷却器を接続してコールドヘッド8、伝熱体9、試料台4経由で測定対象である試料5を冷却する。試料台4裏側に図示を省略している抵抗加熱ヒータを固定し、試料台4の加熱を行う。試料台4裏側に温度センサ(図示省略)を固定し、試料台4の温度を測定する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 XYZステージ機構体の小型化、真空槽の小型薄型化を可能にし、試料に簡便に磁場を印加できる。
改善効果2 探針支持棒を大気側の端点のみならず試料により近い支点で保持するので、探針先端位置を機械的に安定化する。
改善効果3 対称的に支柱を配置して試料台を保持することによって測定中の試料冷却、加熱に伴う探針位置の温度ドリフトを防ぐ。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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