レーザ振動計及びレーザ変位計の動的線形性計測方法及び計測装置

開放特許情報番号
L2003005686
開放特許情報登録日
2003/7/11
最新更新日
2015/9/3

基本情報

出願番号 特願2003-115453
出願日 2003/4/21
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2004-317467
公開日 2004/11/11
登録番号 特許第3903180号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 レーザ振動計のレーザ干渉計を用いた動的線形性計測方法及び計測装置
技術分野 機械・加工、電気・電子
機能 検査・検出、その他
適用製品 レーザ振動計、レーザ変位計
目的 レーザ振動計及びレーザ変位計による動的変位もしくは速度の測定において、計測装置に動的線形性を計測し、動的線形性が成立する周波数領域、振幅領域を明らかにする計測方法とその方法を実施するための装置を提供する。
効果 計測装置に動的線形性を計測し、また動的線形性が成立する周波数領域、振幅領域を明らかにする計測方法とその方法を実施するための装置を得ることができる。
技術概要
本発明は、図示するように、金属棒の一端部に二重発射管から同心円上の2個の飛翔体を単独に、及び同時に又は所定時間間隔で衝突させて金属棒内に弾性波パルスを発生させる。各飛翔体の衝突で発生した弾性波パルスが金属棒の他端部に到達したときに生じる端面の運動速度及びひずみを、評価対象となるレーザ振動計またはレーザ変位計で計測する、また基準となるレーザ干渉計で計測し、或いは金属棒側面に設けた歪ゲージで計測し、計測信号を演算し、また適宜補正を行う。その演算結果とレーザ振動計またはレーザ変位計の計測値を時間領域及び周波数領域で比較することによりレーザ振動計またはレーザ変位計の動的線形性を計測し、評価を行うものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 レーザ振動計、レーザ変位計の一次標準、及び二次標準の確立に貢献し、この分野の国際標準の確立に寄与することができる。
改善効果2 マイクロデバイス、マイクロメカトロニクスにおける高周波振動計測における計測の信頼性が向上し、更に加速度センサについてもその一次標準校正技術の信頼性を向上させることができる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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