近接場光の超伝導検出器による検出方法及び装置

開放特許情報番号
L2003003300
開放特許情報登録日
2003/3/28
最新更新日
2015/9/2

基本情報

出願番号 特願2001-219012
出願日 2001/7/19
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2003-035649
公開日 2003/2/7
登録番号 特許第3757266号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 近接場光の超伝導検出器による検出方法及び装置
技術分野 その他
機能 検査・検出
適用製品 近接場光顕微鏡、原子間力顕微鏡、トンネル顕微鏡、ナノテク用測定器・計測器
目的 散乱プローブでは近接場光の集光効率を高めることが難しく、検出効率を高めることが困難である。直接検出器を挿入して高効率検出する方法及び装置を提供する。
効果 原子間力顕微鏡、トンネル顕微鏡と直接検出器を組合わせて、高い効率で近接場光を検出すると同時に前記の二次元情報も得られる。
技術概要
 
本発明は図1に例示するように、カンチレバーの端部に先端が鋭利な支持体を設け、支持体上に超伝導体1、絶縁体、超伝導体2からなる超伝導トンネル接合構造を有する光検出器を形成し、この光検出器を近接場内に挿入することにより、高効率で近接場光を検出し、光子のエネルギー測定も行うものである。カンチレバーとしては原子間力顕微鏡、トンネル顕微鏡なども利用できる。また、別の例として、図2に例示するようにカロリメーター光検出器を作成してもよい。 単一光子の分光能力を有する超伝導検出器を近接場カンチレバー(原子間力顕微鏡、等)とを集積化して試料上を走査することで、表面形状、電気的特性、光学的特性の二次元情報も得られる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 超伝導トンネル接合光検出器あるいは超伝導カロリメーター光検出器とカンチレバープローブを集積化することで、高効率で近接場光を検出できる。
改善効果2 集積化した検出器は光子単位で光子エネルギーを(分光)測定できる。
改善効果3 また、プローブにより試料上を走査することで、表面形状、電気的特性、光学的特性の二次元情報も得られる。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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