| 出願番号 |
特願2001-219012 |
| 出願日 |
2001/7/19 |
| 出願人 |
独立行政法人産業技術総合研究所 |
| 公開番号 |
特開2003-035649 |
| 公開日 |
2003/2/7 |
| 登録番号 |
特許第3757266号 |
| 特許権者 |
国立研究開発法人産業技術総合研究所 |
| 発明の名称 |
近接場光の超伝導検出器による検出方法及び装置 |
| 技術分野 |
その他 |
| 機能 |
検査・検出 |
| 適用製品 |
近接場光顕微鏡、原子間力顕微鏡、トンネル顕微鏡、ナノテク用測定器・計測器 |
| 目的 |
散乱プローブでは近接場光の集光効率を高めることが難しく、検出効率を高めることが困難である。直接検出器を挿入して高効率検出する方法及び装置を提供する。 |
| 効果 |
原子間力顕微鏡、トンネル顕微鏡と直接検出器を組合わせて、高い効率で近接場光を検出すると同時に前記の二次元情報も得られる。 |
技術概要
|
本発明は図１に例示するように、カンチレバーの端部に先端が鋭利な支持体を設け、支持体上に超伝導体１、絶縁体、超伝導体２からなる超伝導トンネル接合構造を有する光検出器を形成し、この光検出器を近接場内に挿入することにより、高効率で近接場光を検出し、光子のエネルギー測定も行うものである。カンチレバーとしては原子間力顕微鏡、トンネル顕微鏡なども利用できる。また、別の例として、図２に例示するようにカロリメーター光検出器を作成してもよい。 単一光子の分光能力を有する超伝導検出器を近接場カンチレバー（原子間力顕微鏡、等）とを集積化して試料上を走査することで、表面形状、電気的特性、光学的特性の二次元情報も得られる。 |
| イメージ図 |
|
| 実施実績 |
【無】 |
| 許諾実績 |
【無】 |
| 特許権譲渡 |
【否】
|
| 特許権実施許諾 |
【可】
|
)
)