パージ容器

開放特許情報番号
L2003003075
開放特許情報登録日
2003/3/28
最新更新日
2016/2/18

基本情報

出願番号 特願2001-091677
出願日 2001/3/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所、原 史朗
公開番号 特開2002-282712
公開日 2002/10/2
登録番号 特許第4238485号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 密閉容器
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 有害ガス分子・有害浮遊微粒子・有害微生物・劇物・遺伝子操作など・人体と作業対象製品や物質とを・人体有害性の回避の観点から隔絶する技術を利用する技術分野
目的 容器内での非効率なパージ、具体的には、原理的に長時間を要するパージ時間の問題、パージガスの大量消費の問題、複雑な操作を必要とするパージの問題、排気系を必須とするパージの問題などの解決の実現。また、重力の影響を受けないか無視できるほど小さい浮遊微粒子およびガス分子に対する非効率パージ問題の解決の実現。
効果 これまで局所クリーン化は技術的に難しいと思われていたり、または、その有用性に気づかなかった多くの産業分野で、有効である。
技術概要
この技術では、容器内の対抗する2つの側面に物質透過性のシート状または板状のスクリーンを配置する。それにより、容器内での場所に依存しない均一な流速を得、結果として、高効率にパージを行う。スクリーンに必要な機能は、スクリーン有効面積全面から物質が透過することである。それを満たすものであれば、どのようなスクリーン構造でも良い。膜、繊維質の布、無数に穴の空いた板、海綿体構造のスポンジ類、焼結体などが例として考えられる。また、半導体ウェーハ搬送・保存容器に対しては、スクリーンを設けることより、パーティクルをウェーハに付着しにくくさせることができる。また、そのようなパージを行うためのパージガスは、容器を接続する製造装置などの相手側から供給するよう、ガス供給コネクタを設ける。さらに、グローブボックス応用においては、スクリーンを設けることにより、層流化が促進され、パージ時間とパージガス消費量の大幅な減少が達成される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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