導電性銅アルミ酸化物の溶液法による製造方法

開放特許情報番号
L2003003036
開放特許情報登録日
2003/3/28
最新更新日
2015/9/1

基本情報

出願番号 特願2001-062528
出願日 2001/3/6
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2002-265220
公開日 2002/9/18
登録番号 特許第3569744号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 導電性銅アルミ酸化物の溶液法による製造方法
技術分野 電気・電子
機能 材料・素材の製造
適用製品 電子材料として有用な導電性銅アルミニウム酸化物(酸化物半導体)
目的 従来方法で必要であった真空での行程をなくし、常圧の大気中での作成を可能とする導電性銅アルミニウム酸化物の製造方法の提供。
効果 従来のような真空装置が不要となり、導電性銅アルミ酸化物をより安価かつ簡便に製造することができる。さらに、水性溶液を出発原料として用いているので、バルク状の物や大面積の膜として製造することも容易である。
技術概要
この技術では、先ず、水性媒体中に水溶性銅塩と水溶性アルミニウム塩を溶解させて、銅及びアルミニウムを含む水性溶液を作る。この場合、銅塩とアルミニウム塩との割合は、銅/アルミニウム原子比で表して、好ましくは1:0.9〜1:1.1である。水性媒体としては、通常、水又は水と有機溶媒との混合物等が用いられる。水性溶液中の銅塩の濃度は、金属(Cu)換算量で10〜100g/L、好ましくは20〜80g/Lである。次に、水性溶液を乾燥する。乾燥温度は、30〜170℃、好ましくは30〜130℃である。また、減圧下で乾燥することも好ましい方法である。次に、乾燥物は、それを焼成する。この場合、焼成温度は、500〜1200℃、好ましくは1000〜1100℃である。焼成雰囲気としては、含酸素雰囲気、通常、空気(大気)を用いる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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