曲面を有する石英ガラスの微細穴あけ加工法

開放特許情報番号
L2003002979 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/28
最新更新日
2015/8/31

基本情報

出願番号 特願2001-046076
出願日 2001/2/22
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2002-248590
公開日 2002/9/3
登録番号 特許第3396736号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 曲面を有する石英ガラスの微細穴あけ加工法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 石英ガラス、微細穴あけ加工、レーザ加工
目的 レーザビームの形状が真円に近い形状になるようにすることによって、曲面を有する石英ガラス表面における穴の形状を真円に近い形状にすることを可能にするレーザによる微細かつ精密な穴あけ加工方法の提供。
効果 曲面を有する石英ガラス上に真円に近い形状の穴をあけることが可能となる。また、曲面を有する石英ガラス表面に微細かつ精密な穴あけ加工を施すことができる。
技術概要
この技術では、曲面を有する石英ガラス上にFe薄板を固定し、かつ石英ガラスとFe薄板との距離をコントロールすることができるジグを用いて、Fe薄板、石英ガラスを固定し、Fe薄板の表面にレーザを照射して、Fe薄板、石英ガラスを同時に穴あけを行うことによって、曲面を有する石英ガラス表面における穴の形状が真円に近い形状となる穴あけ加工を施す。ここで、石英ガラスとFe薄板との距離は、0〜1.6mmの範囲にコントロールする。また、Fe薄板の板厚が、0.1〜0.5mmであるものとする。曲面を有する石英ガラスとしては、例えば、SiO↓2(二酸化ケイ素)からなる曲面状のガラスが用いられる。レーザ加工としては、好適には、炭酸ガスレーザを用いるが、これに制限するものではない。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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