火炎で合成した窒化アルミニウム製フィラー粉体

開放特許情報番号
L2003002852
開放特許情報登録日
2003/3/28
最新更新日
2015/8/28

基本情報

出願番号 特願2000-322130
出願日 2000/10/23
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2002-128511
公開日 2002/5/9
登録番号 特許第3991098号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 火炎で合成した窒化アルミニウム製フィラー粉体
技術分野 無機材料
機能 加熱・冷却
適用製品 窒化アルミニウム粉体、窒化反応、無機材料、有機材料
目的 原料粉体(フィラー)として必要な数μm〜数10μmの粒子径と球形度を達成した新規な窒化アルミニウム粉体、その製造方法及び製造装置の提供。
効果 半導体パッケージング材料を好適とする、組成が無機材料から成る粉体を、組成が有機材料から成る樹脂系原料に充填して用いる複合材料系において、その原料フィラー粉体として最適である。
技術概要
 
この技術では、重要な技術的要件は、次の三点にある。(1)粒子径範囲が0.001〜500μmに含まれる原料粉体の、高分散かつ安定な流動化又はエアロゾル状態の形成、(2)火炎中のガス雰囲気調整、及び火炎による高温を駆動力にした直接窒化法又は還元窒化法の利用、(3)原料及び火炎量の比率制御、又は熱処理工程の連続化等である。まず、原料粉体は、粒子径範囲が0.001μm〜500μmに含まれ、平均粒子径範囲が0.1〜100μmであることを技術的要件とするが、その理由は、原料粉体の形状が、合成される窒化アルミニウム粉体の形状に反映されるためである。次に、火炎の原料や発生方法については、水素H↓2、メタンCH↓4・ブタンC↓3H↓8・アセチレンC↓2H↓2等の液化石油ガス、アンモニアNH↓3等のC又はH元素などから成る各種の可燃性ガス、及び酸素O↓2等の支燃性ガスを好適とする。そして、火炎中で合成された粉体に連続的又は継続的に高温を付与する方法・装置については、熱CVD法等で採用される通常の電気炉加熱を好適とする。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT