オゾン含有排ガスの無害化方法及びその装置

開放特許情報番号
L2003002578
開放特許情報登録日
2003/3/20
最新更新日
2015/8/27

基本情報

出願番号 特願2000-089659
出願日 2000/3/28
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2001-276575
公開日 2001/10/9
登録番号 特許第3520325号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 オゾン含有排ガスの無害化方法及びその装置
技術分野 金属材料
機能 環境・リサイクル対策
適用製品 排ガス中に高濃度で含まれるオゾンを分解無害化する方法及びその方法に使用される装置
目的 十分な排ガス流量で、高濃度のオゾンを含む排ガス中のオゾンを容易に効率よく分解処理できるとともに、オゾン分解系内に不純物を発生させることなく無害化できるオゾン含有排ガスの無害化方法及びその方法に用いるオゾンの分解無害化装置の提供。
効果 オゾンを含む排ガス中のオゾンを容易に分解させて無害化することが可能になり、例えば、半導体製造装置等に用いた後に排出される高濃度オゾンを含有する排ガスを、半導体製造装置等に求められる不純物の混入を防止し、低圧条件において安全かつ容易に、連続的に分解無害化できることから、オゾンを使用する工業的生産において極めて有益である。
技術概要
この技術は、一定の条件下においては、ある種の金属含有物質が酸化されることによりオゾンを分解無害化する一方、還元により元の状態に戻る自己修復現象を示すという原理をオゾン分解剤として適用することにより、排ガス中のオゾンを容易に分解させて無害化できることを見出し、この知見に基く。すなわち、排ガスの酸素分圧が、同一の金属からなっていて2種以上の金属酸化物形態を形成する遷移金属元素若しくはそれらの金属酸化物、例えば、酸化第一銅(Cu↓2O)と酸化第二銅(CuO)とが、ある低圧下においてその平衡酸素圧力以下となるような温度以上の温度に金属酸化物を予め加熱しておくことにより、酸化第一銅がオゾンと反応して酸化第二銅を生成しながらオゾンを分解すると同時に、酸化第二銅の還元が行われ、酸化銅の酸化還元が同時に進行するという上記した原理に基づいて酸化物が自己再生することにより、オゾンの分解率を一定に保持した状態でオゾンを連続的に分解させて排ガスを処理し、無害のガスにすることができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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