セラミックスマイクロチューブの製造方法

開放特許情報番号
L2003002449
開放特許情報登録日
2003/3/20
最新更新日
2015/8/26

基本情報

出願番号 特願2000-029888
出願日 2000/2/8
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2001-219411
公開日 2001/8/14
登録番号 特許第3374176号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 セラミックスマイクロチューブ成形方法
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 窒化アルミニウム、窒化チタン
目的 膜の内部応力をチューブ形成に利用し、熱処理工程を省くことができる新規なセラミックスマイクロチューブの製造方法の提供。
効果 さまざまなセラミックスのマイクロチューブを熱処理工程を必要とせずに得ることができる。また、セラミックスの全く新しい材料としての広い応用が期待できる。
技術概要
この技術では、スパッタリング法、レーザーアブレーション法、真空蒸着法やイオンプレーティング法などの物理的方法やゾルゲル法、MOCVD法等の化学的手法によって、セラミックス膜を、除去しやすい金属、プラスチック、半導体やアルカリハライド基板上に作製し、その後基板を除去し、熱処理工程を必要とせず膜の内部応力によってセラミックスマイクロチューブを形成する。例えば、スパッタリング法によってアルミニウム箔上に厚さ約1ミクロンの窒化アルミニウム膜を作製し、その後14%の塩酸水溶液によってアルミニウム箔を除去し、セラミックスマイクロチューブとする。ここで、セラミックス膜は、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、窒化チタン、炭化ケイ素、炭化タングステン、酸化アルミニウム、酸化ジルコニア、酸化亜鉛、ニオブ酸リチウム、チタン酸バリウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸ジルコン酸ランタン酸鉛からなる群から選ばれる少なくとも一つ以上からなる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT