雰囲気中の水分検出方法

開放特許情報番号
L2003002092
開放特許情報登録日
2003/3/14
最新更新日
2015/8/24

基本情報

出願番号 特願平09-322410
出願日 1997/11/7
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開平11-142340
公開日 1999/5/28
登録番号 特許第3826175号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 雰囲気中の水分検出方法
技術分野 金属材料
機能 検査・検出
適用製品 雰囲気中の水分の吸着又は脱離で光学的な吸収度が可逆的に変化する特性を有する薄膜を用いた雰囲気中の水分の検出方法。
目的 雰囲気中の水分の吸着又は脱離によって可逆的に吸光度が変化する特性を有し、且つ吸光度の変化が酸化コバルトよりも大きい薄膜を用いた雰囲気中の水分の検出方法の提供。
効果 雰囲気中の微量な水分を高感度に検出することができる。したがって、例えば、高純度ガス中の水分の有無を正確に調べることが可能である。
技術概要
 
この技術では、酸化イリジウム薄膜が、雰囲気中の水分の吸収によって紫外域から近赤外域までの広い波長範囲において光学的透過率及び光学的反射率を大きく変化させるという事実。さらに、酸化イリジウム薄膜を加熱することによって光学的透過率及び光学的反射率の変化する速度が加速されること、及び酸素を含む雰囲気中で加熱することにより光学的透過率及び反射率が初期の状態となり、雰囲気中の水分の吸収による光学的透過率及び光学的反射率の変化を繰り返し測定できる。このような酸化イリジウム薄膜の特性を利用し、雰囲気中の水分検出方法は、酸化イリジウム薄膜を表面に形成した基材を酸素を含む雰囲気中に設置し、薄膜の光学的透過率又は反射率を測定することにより雰囲気中に存する水分を検出する。なお、測定対象を酸素を含む雰囲気中の水分に限ったのは、酸化イリジウムの還元により金属イリジウムが生じると、特性を十分に維持し得ないことによる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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