カオリン粘土を用いたムライト基セラミック基板の熱間加工法

開放特許情報番号
L2003002061 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/14
最新更新日
2015/8/24

基本情報

出願番号 特願平11-345632
出願日 1999/12/6
出願人 経済産業省産業技術総合研究所長
公開番号 特開2001-163663
公開日 2001/6/19
登録番号 特許第3218329号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 カオリン粘土を用いたムライト基セラミック基板の熱間加工法
技術分野 機械・加工、無機材料
機能 加熱・冷却
適用製品 シリコン薄膜を堆積させる基板、熱間加工してムライト基セラミックス基板の表面に微細形状を付与する方法、アルミナ、アルミノシリケートガラス、多結晶シリコン薄膜型ソーラーセル
目的 ムライト基セラミックのガラス相を含むセラミックの塑性変形を利用した熱間加工により、基板に必要とされる形状を付与する方法の提供。
効果 ムライト基セラミックに適宜の微細形状を付与することができる。また、表面での光反射損失を低減し、セルの内部に効率よく光を閉じこめることができる。
技術概要
この技術では、カオリン粘土とアルミナを所定の割合で混合した出発原料を成形した後、高温で焼成し、ムライト相とアルミノシリケートガラス相よりなるムライト質基板を作製する。ムライトの熱膨張係数が約5.0×10↑(−6)/℃、アルミノシリケートガラスのそれが1〜2×10↑(−6)/℃であるので、カオリン粘土に対して添加するアルミナの量を調整して、ムライト相とアルミノシリケートガラス相の構成比を最適化することにより、シリコンとの熱膨張係数差のないセラミック基板を得る。出発原料として、好適には、カオリン粘土(SiO↓2とAl↓2O↓3を主成分として微量の不純物を含む)およびアルミナ(Al↓2O↓3)粉末を、SiO↓2とAl↓2O↓3の割合が各々55〜50重量%および45〜50重量%となるように混合したものを用いる。また、ムライト基セラミック基板の熱間加工法は、ムライト基セラミックスの粒界に存在する若干の金属不純物を含んだアルミノシリケートガラスが軟化する約1200〜1600℃で荷重を加えながら型に押さえつける。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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