レーザハイブリッド加熱方法

開放特許情報番号
L2003002047 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/14
最新更新日
2015/8/24

基本情報

出願番号 特願平11-174581
出願日 1999/6/21
出願人 経済産業省産業技術総合研究所長
公開番号 特開2001-001170
公開日 2001/1/9
登録番号 特許第3223271号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 レーザハイブリッド加熱方法
技術分野 機械・加工
機能 加熱・冷却
適用製品 半導体を始めとする各種電子部品、精密機械、自動車、鉄鋼、非鉄金属、セラミックス
目的 平均出力の大きな赤外レーザビームの照射により金属材料の表面を加熱し、様々な加工を施すに際し、レーザビームの吸収効率を高め、そのエネルギーを効果的に金属材料に伝達すると共に、レーザビームの反射を抑制して光学系などの損傷を防止する方法の提供。
効果 レーザビームの吸収効率を高め、そのエネルギーを金属材料に伝達すると共に、レーザビームの反射を抑制して光学系などの損傷を防止することができる。又、鉄、ニッケル、コバルト、クロム、アルミニウム、銅、亜鉛、スズなどの金属や、これらをベースとする合金、例えば、ステンレス鋼、炭素鋼、黄銅、白銅、アルミニウム合金などのレーザ熱加工に利用できる。
技術概要
この技術では、金属材料表面に赤外レーザビームを照射して、表面を熱加工するに当り、KrFエキシマレーザパルスビームを同時に照射して、表面近傍に高密度プラズマを誘起させ、そのプラズマに赤外レーザビームを吸収させる。即ち、近赤外又は遠赤外レーザビームをパルス発振で用いる場合、その発振タイミングはパルス発生器からの出力パルスを基準として制御を行う。出力パルスはドライバーにより、入力信号レベルを合わせた後、赤外レーザ発振器に入力され、赤外レーザビームが出力される。出力されたレーザビームは平面鏡により反射されたのち、凸レンズにより、金属材料表面に集光される。同じ出力パルス信号は、遅延制御装置により、レーザ発振器間の内部遅延時間差と所定の照射開始時間差だけおくれてKrFエキシマレーザ発振器に入力され、KrFエキシマレーザパルスビームを出力する。この出力されたレーザパルスビームは平面鏡で反射されたのち、凸レンズにより、金属材料表面の赤外レーザビーム照射領域内あるいはこれを含む領域に集光される。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2018 INPIT