首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長器

開放特許情報番号
L2003001995
開放特許情報登録日
2003/3/14
最新更新日
2015/8/24

基本情報

出願番号 特願2000-289812
出願日 2000/9/25
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2002-098510
公開日 2002/4/5
登録番号 特許第3427182号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長器
技術分野 電気・電子
機能 検査・検出
適用製品 首振り運動光てこ、四分割受光素子、レトロリフレクタ、XYZ三次元座標空間内で移動する光学反射鏡
目的 光軸の姿勢が変化しても、干渉計測原点すなわち首振り運動光てこの反射面の中心の移動量を微少にすることのできる追尾式レーザ干渉測長器の実現。
効果 光軸の姿勢を変化させても、干渉計測原点の移動量を微少にすることのできる追尾式レーザ干渉測長器を得ることができる。首振り運動による偏心が微少な、測定の基準となる原点を得ることができる。レトロリフレクタの位置を的確に追尾することができる。光線追尾式レーザ干渉測長器の互いの位置関係及び光線追尾式レーザ干渉測長器とレトロリフレクタとの距離が測定できない場合においてもレトロリフレクタの位置を決定することができる。
技術概要
この技術では、2点鎖線はレーザ光の光軸を示しており、レトロリフレクタからの戻り光は、首振り運動光てこの半球の上面中心で反射して、ビームスプリッタに達する。この戻り光の約1/2は、ここで反射して四分割受光素子に入射する。四分割受光素子は、レトロリフレクタが静止しているときに受光素子の4つの受光面A、B、C、Dからそれぞれ得られる電気的出力a,b,c,dが全て等しくなるように中立位置を調整して組付けている。レトロリフレクタが移動すると、電気的出力a,b,c,dの出力バランスが崩れる。電気的出力に関して、〔a+c〕−〔b+d〕の値を制御偏差として〔a+c〕−〔b+d〕=0を目標としたX軸方向の位置制御を、同様にして〔a+b〕−〔c+d〕の値を制御偏差として〔a+b〕−〔c+d〕=0を目標としたY軸制御を実行することにより、レトロリフレクタの位置を追尾できる。そこで干渉計の中心からレトロリフレクタの中心までの光路長を計測することにより、レトロリフレクタの中心と光てこの上面中心までの、レトロリフレクタの移動による距離差、即ち、L1−L0の値を干渉計測できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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