紫外光用透明伝導材料

開放特許情報番号
L2003001971 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/14
最新更新日
2015/8/24

基本情報

出願番号 特願平11-248212
出願日 1999/9/2
出願人 工業技術院長
公開番号 特開2001-072420
公開日 2001/3/21
登録番号 特許第3116089号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 紫外光用透明伝導材料
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 約3〜4eVの領域の紫外光を透過させることができるとともに、高い電気伝導性を有する紫外光用透明伝導材料
目的 紫外光域までの透過領域を有する紫外光用透明伝導材料の提供。
効果 この伝導材料は、紫外光透明伝導材料として好適に使用することができる。この伝導材料は、成分Yの固溶量を調整することにより、電気伝導度のみならず、光透過波長領域を制御することができる。
技術概要
この技術は、組成式(A↓(1−x),Y↓X)N(式中、AはHfおよび/またはZrであって、0≦x≦0.3程度である。)で示される岩塩型構造を有する窒化物からなる紫外光用透明伝導材料に係る。この伝導材料として、組成式で示される窒化物のなかでは、(Hf↓(1−x),Y↓X)Nが好ましい。成分Yの固溶量xは、特に制限されず、用途に応じて適宜設定することができるが、通常0≦x≦0.3程度であり、好ましくは0.02≦x≦0.15程度である。この伝導材料の結晶構造は、NaClの結晶においてみられる岩塩型である。この伝導材料の製造方法は、特に制限されず、目的とする用途乃至形態に応じて、公知の直流マグネトロンスパッタリング法、高周波マグネトロンスパッタリング法などにより適宜製造することができる。製造条件の相違に関わりなく、この組成と結晶構造とを有する限り、この技術におけるの伝導材料である。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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