超音波クラスター発生方法及び装置

開放特許情報番号
L2003001677 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/7
最新更新日
2015/8/20

基本情報

出願番号 特願平10-052997
出願日 1998/3/5
出願人 工業技術院長
公開番号 特開平11-246966
公開日 1999/9/14
登録番号 特許第2967191号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 超音波クラスター発生方法及び装置
技術分野 電気・電子
機能 制御・ソフトウェア
適用製品 金属・セラミックス・プラスチック等の基板
目的 反射率の高い材料に対して熱吸収を良くするために球形状のクラスター薄膜を堆積することができる超音波クラスター発生方法及び装置の提供。
効果 反射率の高い材料に対して熱吸収を良くするために球形状のクラスター薄膜を堆積することができる。又、基板上にクラスターと薄膜の複合層を形成することができる。
技術概要
この技術では、真空容器の下部に出力200W、周波数20kHzの超音波加工機用のホーンを上向きに設置して、その制御は、金属のクラスターを堆積するときに出力オンになるよう行う。さらに、アルミニウムロットの先に2.5mmφのMoロットを固定し、このMoロットの先端は、超音波振動を効率良く溶融金属に伝えるために、コイル状バケットヒーターの中心をガイドとして上下に移動出来るように0.8mmφに細くする。そして、金属の溶融は真空容器の外部に設置したスライド抵抗器と赤外線温度計で蒸発ヒーターの温度を制御し、金属が完全に溶融してからシャッターを開け膜厚計で測定しながら基板上に薄膜を形成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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