三次元微動台

開放特許情報番号
L2003001575 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/7
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願平09-195857
出願日 1997/7/22
出願人 工業技術院長
公開番号 特開平11-038164
公開日 1999/2/12
登録番号 特許第3044294号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 三次元微動台
技術分野 機械・加工
機能 免振・制振
適用製品 顕微鏡、三軸微動刃物台、三次元センシング本体機構部
目的 全体構造が完全対称形でない、駆動軸が空間で離れている、構造上、全体がコンパクトにならない、各軸の板ばねの変位方向は直交しているが、変位面が互いに直交した対称形の配置構造となっていない、などの欠点を全て解決した完全対称形で一体構造型の三次元微動台の提供。
効果 立方体ブロックを母体としてその内部に完全に対称形となる変位体を構築したので、全体をコンパクトに構成できる。また、例えばX軸方向に外力を加え、弾性部材を変形させても、X軸の直進微動運動はY軸やZ軸の微動運動に影響をほとんど与えず、互いの直進微動運動の独立性を保つことができる。
技術概要
この技術の三次元微動台は、立方体ブロックを有し、この立方体ブロックを母体として内部に同心上にかつ立方状に、第1変位体を画成しており、この第1変位体の画成により、立方体ブロックは外殻状となり、第1変位体は、その外殻状の立方体ブロックとは間隙を保持すると共に、板ばねを介し立方体ブロックに支持される。また、第1変位体には、その第1変位体を母体として内部に同心上にかつ立方状に、第2変位体が画成され、第2変位体は、その外殻状の第1変位体とは間隙を保持すると共に、板ばねを介し第1変位体に支持される。さらに、第2変位体には、その第2変位体を母体として内部に同心上にかつ立方状に、第3変位体が画成され、第3変位体は、その外殻状の第2変位体とは間隙を保持すると共に、板ばねを介し第2変位体に支持される。これにより中央に位置する第3変位体は、8枚の板ばねを介して、第2変位体側に支えられ、X軸方向の外力を加えると、その8枚の板ばねが、それぞれ変曲点を対称に変形して撓み、X軸方向に直進微動し、X軸微動体として機能する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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