レーヤードアルミニウム微粒子の生成法及びその応用

開放特許情報番号
L2003001541 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/7
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願平09-074604
出願日 1997/3/10
出願人 工業技術院長
公開番号 特開平10-256528
公開日 1998/9/25
登録番号 特許第3041413号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 レーヤードアルミニウム微粒子の生成法及びその応用
技術分野 無機材料
機能 材料・素材の製造
適用製品 球状金属アルミニウム微粒子、金属アルミニウム微結晶、単一電子トンネリング現象、量子デバイス、マグネトロンスパッタ
目的 単一電子のトンネリング制御を可能とする、ごく薄い絶縁層を表層とする金属アルミニウム微粒子を簡便かつ効率よく生成させる方法の提供。
効果 単一電子トンネリングを利用した量子デバイスの素子として有用な直径5nmから500nmのレーヤードアルミニウム微粒子を効率よく生成することができる。
技術概要
この技術では、アルミニウム原子をマスフローメーターによって導入したアルゴンガス(純度99.99%、4×10↑(−3)Torr)の直流放電(220V,0.4A)によってアルミニウムターゲット(直径50mm)からスパッタさせて、マスフローメータによって導入したヘリウムガス(純度99.9%、10Torr)と水蒸気(1×10↑(−7)Torr)の混合気体中に供給し、この中でアルミニウム原子の凝集を起こさせ金属アルミニウム微粒子を生成させた後、アパチャー(直径2mm)を通して粒子を真空中に放出し、生成させた。この場合、粒子生成源の出口付近は液体窒素で冷却してあり、また、アパチャーとアルミニウムターゲット間の距離は100mmであった。粒子生成源の出口付近を液体窒素で−60℃〜−180℃に冷却することにより、生成源内の水蒸気の量を、レーヤードアルミニウム微粒子生成に最適な1×10↑(−7)−3×10↑(−7)Torrにできる。さらに、粒子生成源の出口付近を液体窒素で冷却しない場合は、アルミニウムターゲットとアパチャーの距離を短くし、30mm−50mmとすることによっても上記同様のレーヤードアルミニウム微粒子を生成する。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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