複合多孔性センサーの作製方法

開放特許情報番号
L2003001476 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2003/3/7
最新更新日
2015/8/19

基本情報

出願番号 特願平10-064271
出願日 1998/2/26
出願人 工業技術院長
公開番号 特開平11-248663
公開日 1999/9/17
登録番号 特許第2958452号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 複合多孔性センサーの作製方法
技術分野 化学・薬品
機能 材料・素材の製造
適用製品 水素やエタノールなどの可燃性ガスの漏洩検知、食品や環境関連分野での芳香成分や毒性ガスの検知
目的 ガスセンサー材料とガスとの反応性を増幅させるための触媒粒子を、センサー材料粒子の表面上に局所的に制御して分散させるとともに、同時に気孔率の高い多孔性のセンサー素子を与えることができる半導体−金属複合粒子ガスセンサー素子の製造方法の提供。
効果 触媒粒子の分散状態と厚膜構造を同時に制御した素子を容易に作製することができ、この積層膜は、ガスセンサー素子として好適である。
技術概要
この技術では、蒸気発生装置でテトラメチルスズSn(CH↓3)↓4を気化温度0℃に設定して蒸気を発生させ、0.01〜0.51/minのArをキャリアガスとしてSn(CH↓3)↓4蒸気を500〜800℃に温度を保った反応器へ送り、反応ガスとして0.1〜0.51/minのO↓2とシースガスとしてN↓2を0〜51/minで供給して、反応器中の化学反応でSnO↓2ガスセンサー材料粒子を合成する。次に、SnO↓2ガスセンサー材料粒子に正、Pdに負の静電気を荷電する。つづいて荷電粒子を混合し、反対極性に荷電された粒子同士に働く静電凝集力を利用して、SnO↓2ガスセンサー材料粒子の表面にPd触媒粒子が付着したSnO↓2−Pd複合粒子を合成する。そして、負の静電気を荷電したのち、複合粒子を、あらかじめPd電極を取り付けた石英製センサー基板状に静電沈着させ、荷電された粒子が基板状に数珠玉状に連なった状態で堆積した、気孔率の高い多孔性の厚膜構造のSnO↓2−Pdガスセンサー素子を得る。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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