2種類混合気体の濃度測定方法及び濃度測定装置

開放特許情報番号
L2002011742 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2002/12/14
最新更新日
2015/8/18

基本情報

出願番号 特願2000-153979
出願日 2000/5/25
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2001-330543
公開日 2001/11/30
登録番号 特許第3336384号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 2種類混合気体の濃度測定方法及び濃度測定装置
技術分野 化学・薬品
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 2種類の気体からなる混合気体の濃度を計測する装置、被測定気体の圧力に依存せず、計測時に被測定混合気体が分解することなく、また、計測後に被測定混合気を破棄することがないようにした濃度計測方法、及びこの計測方法を実施する装置
目的 圧力が変化しても正確な濃度を測定することができ、特定の波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、また、熱や光を加えて測定を行う方法のように爆発引火の危険性が無く、かつ、被測定ガスの分解が無いことによりサンプリングガスを多量に用意し、またそれを廃棄する必要が無く、気体濃度の変化に対応して即時に濃度を測定することができるようにした、2種類混合気体の濃度測定方法、及びその方法を実施するための濃度測定装置の提供。
効果 混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、また圧力が変化しても常に正確な濃度を測定することができる。熱や光による刺激によって爆発の起こる混合気体でも安全に測定することができる。特定の波長の紫外線ランプ等を必要とせず、メンテナンスが容易であり、更に気体濃度の変化に対応して即時に濃度を測定することが可能となる。より正確な濃度測定装置とすることができる。
技術概要
この技術では、被測定混合ガスが供給される配管に連通管を接続し、この連通管に対して混合ガスの粘性や分子密度等の物性によって測定値が変化しない絶対圧力を測定することができる絶対圧力測定子を接続すると共に、気体の粘度等の物性により表示圧力が変化し、且つ予めその特性が知られている圧力測定子、即ち圧力・物性値測定子を接続している。また、絶対圧力測定子、及び圧力・物性測定子のデータを入力し、純粋気体固有の物性値に基づき、混合ガスの濃度と物性値により変化した表示圧力の関係を示すデータから濃度を計算する濃度計算機を備えている。圧力・物性値測定子としては水晶摩擦真空計を用いている。水晶摩擦真空計が、気体に接した水晶振動子の受ける気体との摩擦力が、圧力が粘性流の領域では気体の分子量と気体の粘性係数の積の1/2乗に比例することから生じるものである。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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