摩擦力検出用カンチレバー

開放特許情報番号
L2002009072 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2002/8/10
最新更新日
2015/8/17

基本情報

出願番号 特願平11-063353
出願日 1999/3/10
出願人 独立行政法人産業技術総合研究所
公開番号 特開2000-258331
公開日 2000/9/22
登録番号 特許第3261451号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 摩擦力検出用カンチレバー
技術分野 金属材料、機械・加工
機能 検査・検出
適用製品 摩擦力測定、摩擦力分布測定
目的 摩擦力測定或いは摩擦力分布測定のための摩擦力検出用カンチレバーを、曲げ剛性に影響を与えることなくねじり剛性を向上させ、ねじり変形の影響を受けないで摩擦力を検出可能にする。
効果 プローブがヘッドと共に角度を変えずに横に変位し、ねじり剛性を下げずにねじり変形の影響を受けない状態で摩擦力を検出でき、任意の検出感度で高精度の摩擦力分布が測定できる。
技術概要
図に示すように、被験試料1の表面に対し垂直に向く複数枚の互いに平行な板ばね3を、間隔を置いて対向配置し、板ばね3の両端を相互に拘束することによりカンチレバー本体2を構成する。この基端を摩擦力顕微鏡に取り付けたベース7に固定し、カンチレバー本体2の先端部分にブロック状のヘッド4を設け、試料側の面にプローブ5を設け、ヘッド4上にヘッドの位置により変位検出用レーザー光Lの反射角度を異にする円筒面形状または球面形状の突部またはくぼみ状反射面6を設けてある。この反射面6にレーザー光Lのスポットを照射すると、プローブ5の移動に伴ってスポット照射位置が変化し、反射面6で反射したレーザー光の角度が変化し、この変化量が摩擦力信号として検出できる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

アピール情報

導入メリット 【 】
改善効果1 ねじり変形の影響をほとんど受けない状態で摩擦力が検出できる。
改善効果2 任意の摩擦力検出感度で、高精度の摩擦力分布が測定できる。
改善効果3 試料に接触するプローブ先端部分の不変の接触点の実現。

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
Copyright © 2017 INPIT