光熱変換法を利用したスラブ光導波路を有するセンサー及び光熱変換法を利用した検出方法

開放特許情報番号
L2002001805 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2002/2/9
最新更新日
2015/8/14

基本情報

出願番号 特願平10-248969
出願日 1998/9/3
出願人 工業技術院長
公開番号 特開2000-074861
公開日 2000/3/14
登録番号 特許第3141105号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光熱変換法を利用したスラブ光導波路を有するセンサー及び光熱変換法を利用した検出方法
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造、検査・検出
適用製品 光の吸収を利用して定性分析や定量分析を行いうるセンサー及び検出方法、及び、スラブ光導波路を有し、光熱変換法を利用した、高感度で小型化しうるセンサー、及びスラブ光導波路を使用し、光熱変換法を利用した、高感度の検出方法
目的 小型化でき、装置自体の振動や測定環境の空気の振動の影響をうけにくく、より高感度の検出、測定を行いうる、光熱変換法を利用したスラブ光導波路を有するセンサーの提供、さらに、雑音等の影響なく高感度の検出、測定を行いうる光熱変換法を利用した検出方法の提供。
効果 センサー全体を小型化でき、光検出手段等の振動による影響も防止できる。また、測定環境の空気の振動など、雑音の影響をうけにくく、高感度で正確な測定が行える。さらに、ナイフエッジの位置などを精密に調整保持する光学素子が必要でなく、また、センサーのコストを低減することができる。また、測定環境の空気の振動などに左右されずに高感度の検出、測定を行うことができる。
技術概要
この技術では、プローブ光出射用の溝の形成は、プローブ光制限用の溝と同様に行うことができ、光導波路コア層を断ち切る深さで、光導波路コア層を横切るように形成される。溝の形状や位置は、光制限手段や光検出手段との位置関係などにより適宜定められる。光検出手段は、溝の上に、その検出部位を光導波路コア層に接して置かれ、溝で出射したプローブ光を、光導波路コア層の極く近くで検出する。このセンサーを用い、プローブ光が透過している光導波路コア層の表面に、試料としてローダミン6G(商品名)水溶液(100マイクロモル/リットル)10マイクロリットルを滴下して乾燥させ、ここにチョッピングした励起光(以下、ポンプ光という)をプローブ光を横切る方向に走査しながら照射した。センサーのスラブ光導波路は、厚さ約1mmの顕微鏡用スライドガラスの基板の上に、厚さ約1μmの光導波路コア層をイオン交換法によって形成したものを用いた。ポンプ光の光源としてはアルゴンレーザー(5mW)、プローブ光源としてはヘリウム−ネオンレーザーを用いた。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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