静圧流体軸受

開放特許情報番号
L2001008641 この特許の事業構築のヒントや可能性をご覧頂けます
開放特許情報登録日
2001/7/21
最新更新日
2015/8/14

基本情報

出願番号 特願平11-284548
出願日 1999/10/5
出願人 工業技術院長
公開番号 特開2001-107963
公開日 2001/4/17
登録番号 特許第3106189号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 静圧流体軸受
技術分野 機械・加工
機能 機械・部品の製造
適用製品 気体、液体、潤滑材、静圧流体軸受
目的 静圧流体軸受のスロット状給気絞りのスロット間隔を制御することで高軸受剛性および高剛性化の極限である無限軸受剛性の実現。
効果 浮上体の変位に応じて静圧気体軸受内に配置されている調整スリーブを駆動手段を用いて制御することによって、軸受剛性が著しく高められ、無限軸受剛性をも期待できる。この結果、浮上体の負荷変動に対する変位変化を極力小さくすることが可能となり、従来、軸受の剛性不足で達成できなかった精度的な問題を解決できるとともに、産業機器の軸受にこの気体軸受を採用することにより機器の性能および信頼性の向上に貢献できる。
技術概要
この技術の静圧気体軸受の断面略図において、円形の調整スリーブは、円筒状の固定スリーブとの間の微少な隙間がスロット状給気絞りを形成する。すなわち、調整スリーブの上面と固定スリーブとの間のスロット間隔hsおよび調整スリーブの上部の円筒面と固定スリーブとの間の隙間hs1がスロット状給気絞りとなる。調整スリーブは、圧電素子を介して円板状のベースに取り付ける。又、浮上体にかかる負荷の増大により隙間Δhが減少すると、これを変位計が検知し、その変位量に対応した電圧が制御器から圧電素子に加わる。すると圧電素子はΔh相当分だけ収縮し、スロット間隔hsが増加して調整絞りの流体抵抗を減少させ、隙間hs1の流路についても長さが縮まり、その分、流体抵抗を減少させる。これによりスロット絞り静圧気体軸受内の圧力が上昇して隙間hを増大させ、結果として隙間hは、一定に保たれ、無限剛性を発揮することになる。
イメージ図
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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