光アクチュエータ素子

開放特許情報番号
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開放特許情報登録日
2001/7/21
最新更新日
2015/8/14

基本情報

出願番号 特願平11-075349
出願日 1999/3/19
出願人 工業技術院長
公開番号 特開2000-267022
公開日 2000/9/29
登録番号 特許第3106187号
特許権者 国立研究開発法人産業技術総合研究所
発明の名称 光アクチュエ−タ素子
技術分野 電気・電子
機能 機械・部品の製造
適用製品 光センサ、光アクチュエータ、光コントローラ、光発電器、光エネルギ変換素子、光アクチュエータ素子
目的 多結晶材料に特有の問題を解消すると共に応答性を高め、さらに光源としてレーザをも使用できるようにした光アクチュエータ素子。
効果 単結晶材料を用いることによって、素子中の結晶軸の方向が統一され、微結晶中に分域がなく、ヒステリシス・クリープもないなど、従来の多結晶材料に特有の問題を解消したアクチュエータ素子を得ることができる。また、応答速度も約1桁改善することができ、さらに、光源としてレーザをも使用できるようにした光アクチュエータ素子を得ることができる。
技術概要
この技術では、ニオブ酸リチウム、ニオブ酸タンタル、及びチタン酸バリウム、並びにそれらに鉄または銅を添加した単結晶材料のいずれかによって素子をする。素子として、例えば、鉄添加ニオブ酸リチウムのY+128(±15)度板を用い、板面に垂直な方向からレーザ等の光を照射すると、素子には光起電力効果が起こり、光歪効果によって、歪が誘起される。又、光アクチュエータ素子としては、熱処理によって分極反転層を利用した単結晶モノモルフアクチュエータ板を作製することにより、従来のセラミックスにおいて必要であった分極処理プロセスや貼り合わせが不要となり、素子の作製に新しい手法を導入することが可能となる。また、素子をバイモルフ形として光の両面照射を行うことにより、光歪効果を一層大きくすることができる。
実施実績 【無】   
許諾実績 【無】   
特許権譲渡 【否】
特許権実施許諾 【可】

登録者情報

その他の情報

関連特許
国内 【無】
国外 【無】   
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